高精度粗糙度儀的工作原理為觸針掃描法，當觸針直接在工件被測表面上輕輕劃過時，由于被測表面輪廓峰谷起伏，觸針將在垂直于被測輪廓表面方向上產生上下移動，把這種移動通過電子裝置把信號加以放大，然后通過指零表或其它輸出裝置將有關粗糙度的數據或圖形輸出來。
高精度粗糙度儀具有測量精度高、測量范圍寬、操作簡便、便于攜帶、工作穩定等特點，一般被應用用于各種金屬與非金屬的加工表面的檢測，包括內孔、弧面、溝槽等。
機電一體化設計，體積小，重量輕，使用方便?？梢詮V泛適用于生產現場，可測量多種機加工零件的表面粗糙度，根據選定的測量條件計算出相應的參數，在液晶顯示器上清晰地顯示出全部測量參數。
在測量前根據被測物所需測的面的形狀來選取粗糙度測量儀測頭，換取測頭時，測頭內部有一根很細的管狀體，裝配時確保兩接觸部位聯接好。
測量工件表面粗糙度時，將傳感器放在工件被測表面上，由儀器內部的驅動機構帶動傳感器沿被測表面做等速滑行，傳感器通過內置的銳利觸針感受被測表面的粗糙度。
此時工件被測表面的粗糙度引起觸針產生位移，該位移使傳感器電感線圈的電感量發生變化，從而在相敏整流器的輸出端產生與被測表面粗糙度成比例的模擬信號。
該信號經過放大及電平轉換之后進入數據采集系統，DSP芯片將采集的數據進行數字濾波和參數計算，測量結果在液晶顯示器上讀出，也可在打印機上輸出，還可以與PC機進行通訊。
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